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商品訊息描述: 最近流行產品日本生產工程權威獎項得主力作，圖解與表格詳實，帶領工程師掌握半導體乾蝕刻技術的全貌，提升現場即戰力。
必買清單◎作者於1989年，以「有磁場微波電漿蝕刻技術的開發與實用化」受獎大河內紀念賞。1994年，以「低溫乾蝕刻設備的開發」受獎機械振興協會賞通產大臣賞。
◎圖解乾蝕刻技術的原理與實務，讓你一讀即懂。
◎由製程直到設備、新技術，更進一步設置有關電漿損傷的章節，以便理解全貌並了解乾蝕刻今後的課題與展望。
針對半導體乾蝕刻技術涉及的電漿物理、化學、材料、電磁等複雜現象，循序解析，詳解各環節的連帶影響，提升現場即時應變的作戰能力，為優秀工程師養成必備的工具書！省荷包
非等向性蝕刻是如何實現？為何Si的蝕刻使用Cl2及HBr，而SiO2的蝕刻則使用氟碳系列的氣體？為何Poly-Si及Al的蝕刻使用ICP（電感耦合式電漿）之類的高密度電漿，而SiO2的蝕刻則使用中密度電漿於間距狹窄的平行板型蝕刻機？
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作者： 野尻一男
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- 出版社：白象文化
新功能介紹 - 出版日期：2015/03/01
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股王領跌台股收漲5.85點 三大法人賣超57.79億 | 股市要聞 | 股市 | 聯合新聞網
台股示意圖。聯合報系資料照 分享 facebook 台股今（27）日開高後呈現震盪整理走勢，股王大立光(3008)領跌，華為概念股續弱，台積電由紅翻黑，拖累大盤指數翻黑，回測10,300點關卡，終場以10,334.13點作收，上漲5.85點，成交量918.84億元；三大法人賣超57.79億元，外資持續賣超，統計已連續賣超14天，合計賣超1,270.84億元。統計三大法人買賣超情況，外資及陸資（不含外資自營商）賣超46.82億元，投信賣超2.11億元，自營商賣超（合計）8.85億元，其中自營商（自行買賣）賣超6.25億元，自營商（避險）賣超2.6億元。. } }); } 台股今日以10,344.18點上漲開暢銷排行網友開箱介紹出，一度拉升到10,365.44點，以金融股及傳產股撐盤，股王大立光走弱，終場收3,690元，跌幅2.25%，台積電由紅翻黑，終場收231元，跌幅0.86%，鴻海則以平盤71.4元作收，指數一度下滑至10,305.28點，搶購限時商品終場收抗漲特價商品小紅，漲幅0.06%，收在10,限量不等人的超人氣產品334.13點。
陸股開盤跌幅逾1%
（中央社台北5日電）受到美股大跌影響，中國大陸股市今天開低逾1%，滬深兩市開盤分別跌1.36%與1.41%。不過開盤60分鐘內，兩市持續震盪走高，呈小跌格局。
上海證券交易所綜合股價指數（上證綜指）今天開報2629.83點，跌幅1.36%；深圳證券交易所成份股價指數（深證成指）開報7825.12點，跌幅1.62%。
美股3大指數4日同步重挫逾3%。道瓊工業指數終場狂瀉799.36點或3.10%，收在25027.07點。影響所及，台股5日開盤也跌破萬點。
除了美股大跌的外部因素，彭博報導，上海與倫敦股市互通的「滬倫通」可能於14日啟動，被視為利多消息。
此外，中國國家發展和改革委員會4日要求區別處置「殭屍企業」債務，原則上要在2020年底前完成對這些資不抵債、多靠政府補貼來經營的企業全部處置工作。此舉被視為有助於銀行放貸等資源的合理配置。（編輯：張淑伶/楊昇儒）1071205
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